高純氣體(Purified Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現代提純技術(shù)能達到的某個(gè)等級純度的氣體。對于不同類(lèi)別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱(chēng)高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領(lǐng)域極寬，在半導體工業(yè)，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。[1]

高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體，和無(wú)機高純氣體